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中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范

Code for design of light emitting diode plant

GB 51209-2016

主編部門(mén):中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部

批準(zhǔn)部門(mén):中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部施行日期:2017年7月1日

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告第1352號(hào)

住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》的公告

現(xiàn)批準(zhǔn)《發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為GB 51209-2016，自2017年7月1日起實(shí)施。其中，第8.2.3、8.3.3(1)、8.3.9、8.3.11、10.2.9條(款)為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)行。

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

2016年10月24日

前言

根據(jù)住房城鄉(xiāng)建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)<2010年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計(jì)劃>的通知》(建標(biāo)[2010]43號(hào))的要求，由工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院電子工程標(biāo)準(zhǔn)定額站與中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院會(huì)同有關(guān)單位共同編制完成。

在規(guī)范編制過(guò)程中，編寫(xiě)組根據(jù)我國(guó)發(fā)光二極管工廠的設(shè)計(jì)、建造和運(yùn)行的實(shí)際情況，進(jìn)行了廣泛的調(diào)查研究，收集了有關(guān)發(fā)光二極管工廠的設(shè)計(jì)要求，認(rèn)真總結(jié)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，同時(shí)考慮我國(guó)目前生產(chǎn)的現(xiàn)狀，參考國(guó)外有關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，廣泛征求了國(guó)內(nèi)有關(guān)單位與專家意見(jiàn)，最后經(jīng)審查定稿。

本規(guī)范共分13章和3個(gè)附錄，主要技術(shù)內(nèi)容包括：總則，術(shù)語(yǔ)，基本規(guī)定，工藝，總圖，建筑，結(jié)構(gòu)，動(dòng)力及氣體工程，供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化，給水排水，電氣，防靜電和空間管理等。

本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

本規(guī)范由住房城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。執(zhí)行過(guò)程中如有意見(jiàn)或建議，請(qǐng)寄送中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院(地址：北京市海淀區(qū)西四環(huán)北路160號(hào)，郵政編碼：100142，傳真：010-88193999)，以便今后修訂時(shí)參考。

本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：

主編單位：工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院電子工程標(biāo)準(zhǔn)定額站

中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院

參編單位：世源科技工程有限公司

信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司

上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司

廈門(mén)市三安光電股份有限公司

主要起草人：羅橋張東晁陽(yáng) 趙廣鵬鄭秉孝李驥秦學(xué)禮肖紅梅李錦生吳曉斌鐘景華張曉敏韓方俊薛長(zhǎng)立陳陣李志偉黃繼紅云庚王立趙玉娟

主要審查人：徐征杜寶強(qiáng) 呂婌宜張同億任兆成李道本任向東施紅平劉國(guó)旭

以下規(guī)范內(nèi)容由合景凈化工程公司 http://www.chinahaodada.com/進(jìn)行整理編輯

1總則

1.0.1 為規(guī)范發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)，做到安全適用、確保生產(chǎn)、經(jīng)濟(jì)合理、技術(shù)先進(jìn)、環(huán)境保護(hù)，制定本規(guī)范。

1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的發(fā)光二極管工廠的工程設(shè)計(jì)。

1.0.3 發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

2術(shù)語(yǔ)

2.0.1 發(fā)光二極管 light emitting diode(LED)

一種能夠?qū)㈦娔苻D(zhuǎn)化為可見(jiàn)光的固態(tài)半導(dǎo)體器件。

2.0.2 外延 epitaxy

在單晶襯底(基片)上生長(zhǎng)一層或多層有一定要求的、與襯底晶向相同或相似的單品層的生長(zhǎng)技術(shù)。

2.0.3 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積 metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD)

以Ⅲ族、Ⅱ族元素的金屬有機(jī)化合物和Ⅴ、Ⅵ族元素的氫化物等作為品體生長(zhǎng)原材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延，生長(zhǎng)各種Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體及其多元薄層單晶材料的工藝過(guò)程。

2.0.4 空間管理 space management

為有效利用空間、縮短工作流程，對(duì)大到整個(gè)廠區(qū)的建筑物布局、地下管線規(guī)劃，小到一棟建筑物內(nèi)部各個(gè)專業(yè)間的配置協(xié)調(diào)而進(jìn)行的設(shè)計(jì)。

3基本規(guī)定

3.0.1 發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)應(yīng)滿足發(fā)光二極管產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)根據(jù)具體情況為今后生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進(jìn)的需要預(yù)留條件。

3.0.2 發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)，采用節(jié)能環(huán)保的新技術(shù)、新設(shè)備、新材料。

3.0.3 發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、調(diào)試檢測(cè)和安全運(yùn)行、維護(hù)管理創(chuàng)造條件。

4工藝

4.1 一般規(guī)定

4.1.1 發(fā)光二極管工廠工藝設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 采用效率高的生產(chǎn)工藝；

2 提高工藝流程的合理性；

3 采用經(jīng)濟(jì)、適用的工藝參數(shù)；

4 具有適度的靈活性和適應(yīng)性。

4.1.2 工藝設(shè)計(jì)應(yīng)滿足工藝生產(chǎn)的要求，并為產(chǎn)品的規(guī)?；a(chǎn)、升級(jí)改造預(yù)留下列條件：

1 工藝設(shè)備數(shù)量增加、工藝設(shè)備占地面積增加所需要的面積條件；

2 工藝設(shè)備變更、工藝設(shè)備高度增加所需要的空間條件；

3 工藝設(shè)備變更、工藝設(shè)備數(shù)量增加所需要增加的動(dòng)力條件。

4.1.3 生產(chǎn)線的產(chǎn)能設(shè)計(jì)應(yīng)符合經(jīng)濟(jì)規(guī)模要求;當(dāng)生產(chǎn)線需分期實(shí)施時(shí)，工藝設(shè)計(jì)中應(yīng)預(yù)留動(dòng)力條件。

4.1.4 工藝設(shè)計(jì)應(yīng)明確生產(chǎn)環(huán)境和動(dòng)力供應(yīng)要求，并應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和設(shè)備正常運(yùn)行的要求。主要工序生產(chǎn)環(huán)境要求可按照附錄A執(zhí)行。

4.1.5 工藝設(shè)計(jì)應(yīng)明確工藝生產(chǎn)動(dòng)力品質(zhì)要求。發(fā)光二極管生產(chǎn)工藝動(dòng)力品質(zhì)要求可按照附錄B執(zhí)行。

4.1.6 主要生產(chǎn)車間的生產(chǎn)設(shè)備宜連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，其他輔助生產(chǎn)車間可根據(jù)其具體特點(diǎn)靈活配套。

4.2 基本工序與生產(chǎn)協(xié)作

4.2.1 生產(chǎn)的基本工序應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝確定。生產(chǎn)工序可根據(jù)附錄C所列的工藝流程確定。

4.2.2 生產(chǎn)的主要工序宜完整，輔助生產(chǎn)工序可通過(guò)外協(xié)方式完成。

4.2.3 在工藝設(shè)計(jì)中，根據(jù)外協(xié)的具體內(nèi)容及要求設(shè)置滿足外部協(xié)作需要的相關(guān)配套設(shè)施。

4.2.4 工藝設(shè)計(jì)應(yīng)滿足發(fā)光二極管工廠的生產(chǎn)、輔助生產(chǎn)、管理和運(yùn)營(yíng)設(shè)施、勞動(dòng)安全、職業(yè)衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)等管理、檢測(cè)、教育和培訓(xùn)設(shè)施的設(shè)計(jì)要求。

4.3 工藝區(qū)劃

4.3.1 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的工藝功能區(qū)應(yīng)依據(jù)生產(chǎn)的工藝流程，按照生產(chǎn)的基本工序進(jìn)行劃分，相同的工序宜集中布置。典型的工藝流程可按照附錄C設(shè)置。

4.3.2 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的工藝區(qū)應(yīng)分別設(shè)置人員出入口、物料出入口。

4.3.3 工藝平面布置應(yīng)設(shè)置設(shè)備搬入口和設(shè)備搬入通道。

4.3.4 生產(chǎn)區(qū)的參觀設(shè)施，應(yīng)與生產(chǎn)環(huán)境相隔離。

4.4 設(shè)備布置

4.4.1 振動(dòng)敏感設(shè)備宜遠(yuǎn)離振動(dòng)源布置。

4.4.2 生產(chǎn)設(shè)備宜根據(jù)工藝流程集中布置，并考慮設(shè)備搬運(yùn)、維修空間。

4.4.3 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備及其輔助設(shè)備宜集中布置。

4.4.4 氣瓶柜、尾氣處理設(shè)備、氣體純化柜等金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的輔助設(shè)備的布置方式，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016和《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB 50646的有關(guān)規(guī)定。

5總圖

5.1 廠址選擇

5.1.1 發(fā)光二極管工廠的廠址選擇應(yīng)按建設(shè)規(guī)模、原材料供應(yīng)、供電、供水、供氣、工程地質(zhì)和企業(yè)協(xié)作條件、場(chǎng)地現(xiàn)有設(shè)施、環(huán)境保護(hù)等因素進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。

5.1.2 廠址選擇應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 避免生產(chǎn)的危險(xiǎn)或有害因素對(duì)周邊人群居住或活動(dòng)環(huán)境造成污染與危害;

2 避開(kāi)空氣經(jīng)常受懸浮物污染的地區(qū)；

3 場(chǎng)地應(yīng)相對(duì)平整，距外界強(qiáng)振源較遠(yuǎn)。

5.1.3 廠址不應(yīng)選擇在下列地區(qū)：

1 易受洪水、潮水、內(nèi)澇威脅的區(qū)域；

2 工程地質(zhì)、水文復(fù)雜的地帶和地震設(shè)防烈度高于9度的地區(qū)；

3 采礦陷落(錯(cuò)動(dòng))區(qū)界限內(nèi)；

4 重要的供水水源衛(wèi)生保護(hù)區(qū)；

5 Ⅳ級(jí)自重濕陷性黃土、厚度大的新近堆積黃土、高壓縮性的飽和黃土和Ⅲ級(jí)膨脹土等工程地質(zhì)地區(qū)；

6 有用礦藏地區(qū)。

5.2 總平面布置

5.2.1 發(fā)光二極管工廠總體規(guī)劃，應(yīng)符合所在地區(qū)的區(qū)域規(guī)劃、城鎮(zhèn)規(guī)劃的要求。

5.2.2 總平面布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 主廠房宜根據(jù)生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和各種功能區(qū)的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置；

2 廠區(qū)內(nèi)生產(chǎn)區(qū)、動(dòng)力輔助區(qū)、倉(cāng)儲(chǔ)區(qū)和辦公、生活區(qū)等功能區(qū)域應(yīng)合理布置；

3 有微振控制要求的潔凈廠房總平面布置時(shí)，應(yīng)考慮鄰近存在較大振動(dòng)的振源對(duì)精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響；

4 工廠的動(dòng)力設(shè)施宜集中布置并靠近工廠的負(fù)荷中心；

5 廠區(qū)人流和物流的出入口宜分開(kāi)設(shè)置;原料物料的運(yùn)輸路線應(yīng)短捷、方便，避免人流和物流之間的混雜和交叉。

5.2.3 廠區(qū)給水、排水、循環(huán)水及動(dòng)力電纜等管線宜選用地下敷設(shè)方式;廠區(qū)易燃可燃液體、燃?xì)?、熱力、壓縮空氣及保護(hù)氣體、通信信號(hào)電纜等管線宜選用地上管架敷設(shè)方式;地上、地下管線的布置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50187的有關(guān)規(guī)定。

5.2.4 廠區(qū)道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。

5.2.5 廠區(qū)應(yīng)合理進(jìn)行綠化，但不宜種植對(duì)生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品質(zhì)量有影響的植物。

6建筑

6.1 一般規(guī)定

6.1.1 發(fā)光二極管工廠可由生產(chǎn)廠房、動(dòng)力廠房、化學(xué)品庫(kù)、氣站、倉(cāng)庫(kù)及辦公樓等建筑組成。

6.1.2 生產(chǎn)廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝、工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。

6.1.3 生產(chǎn)廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)材料的選擇應(yīng)滿足生產(chǎn)對(duì)環(huán)境的氣密、保溫、隔熱、防火、防潮、防塵、耐久、易清洗等要求。外圍護(hù)結(jié)構(gòu)及節(jié)點(diǎn)部位的內(nèi)表面溫度不應(yīng)低于室內(nèi)空氣露點(diǎn)溫度。

6.1.4 技術(shù)夾層、技術(shù)夾道應(yīng)滿足各種風(fēng)管和各種動(dòng)力管線安裝、維修要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井，其形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)管、管線的安裝、檢修和防火要求。

6.1.5 廠房的平面布局和構(gòu)造處理，宜避免人流、物流運(yùn)輸及防火對(duì)潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來(lái)不利的影響。生產(chǎn)輔助部門(mén)等與生產(chǎn)密切聯(lián)系的部門(mén)應(yīng)盡量靠近生產(chǎn)區(qū)。

6.1.6 廠房?jī)?nèi)宜設(shè)置工藝設(shè)備、動(dòng)力設(shè)備的搬入及運(yùn)輸安裝通道;通道寬度應(yīng)滿足人員操作、物料運(yùn)輸、設(shè)備安裝、檢修的要求。

6.1.7 廠房室內(nèi)裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50222和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

6.2 防火及安全疏散

6.2.1 發(fā)光二極管工廠建筑的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。

6.2.2 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類在滿足下列條件時(shí)應(yīng)按丙類，否則應(yīng)按甲類設(shè)防：

1 設(shè)備密閉性良好；

2 設(shè)有氣體或可燃蒸汽報(bào)警裝置和滅火裝置。

6.2.3 其他生產(chǎn)區(qū)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

6.2.4 廠房?jī)?nèi)防火分區(qū)的劃分，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

6.2.5 廠房安全出口的設(shè)置、安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

6.2.6 危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存區(qū)域和分配區(qū)不得設(shè)置在人員密集房間和疏散走廊的上方、下方或貼鄰;特氣間、氣體純化間等有爆炸危險(xiǎn)性房間應(yīng)靠外墻布置，房間泄壓面積應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

6.2.7 易燃易爆化學(xué)品儲(chǔ)存間、分配間，應(yīng)采用不發(fā)生火花的防靜電地面;腐蝕性化學(xué)品儲(chǔ)存間、分配間應(yīng)采用防腐蝕地面。

7結(jié)構(gòu)

7.1 一般規(guī)定

7.1.1 發(fā)光二極管工廠光刻機(jī)等精密設(shè)備基礎(chǔ)應(yīng)滿足微振動(dòng)控制的要求。

7.1.2 產(chǎn)生較大振動(dòng)的設(shè)備基礎(chǔ)宜遠(yuǎn)離光刻機(jī)等精密設(shè)備區(qū)域;當(dāng)無(wú)法遠(yuǎn)離時(shí)，對(duì)產(chǎn)生較大振動(dòng)的設(shè)備應(yīng)采取有效的隔振措施。

7.1.3 生產(chǎn)廠房工藝生產(chǎn)區(qū)的結(jié)構(gòu)不宜設(shè)置伸縮縫。

7.2 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

7.2.1 發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房可根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采用下列結(jié)構(gòu)體系：

1 單層排架結(jié)構(gòu)體系；

2 單層門(mén)式剛架鋼結(jié)構(gòu)體系；

3 多層框架結(jié)構(gòu)體系；

4 多層框排架結(jié)構(gòu)體系。

7.2.2 精密設(shè)備基礎(chǔ)宜避開(kāi)廠房柱基礎(chǔ);無(wú)法避開(kāi)時(shí)，應(yīng)考慮廠房柱基礎(chǔ)沉降引起精密設(shè)備基礎(chǔ)的地基變形計(jì)算。

7.2.3 光刻機(jī)等精密設(shè)備基礎(chǔ)在首層的微振動(dòng)控制應(yīng)根據(jù)其特性，采取防微振措施，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 首層應(yīng)做鋼筋混凝土地面，厚度不宜小于250mm；

2 設(shè)備基礎(chǔ)厚度不宜小于800mm，并應(yīng)與首層的鋼筋混凝土地面連為一體；

3 有沖擊荷載的設(shè)備應(yīng)遠(yuǎn)離光刻機(jī)等精密設(shè)備，且宜在有沖擊荷載設(shè)備的周邊設(shè)置隔振溝；

4 精密設(shè)備的基礎(chǔ)安全等級(jí)應(yīng)不低于二級(jí)。

7.2.4 樓層和屋頂?shù)钠胀ㄔO(shè)備基礎(chǔ)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 不宜采用整片的鋼筋混凝土基礎(chǔ)，宜根據(jù)設(shè)備支承點(diǎn)位置采用鋼筋混凝土支墩或鋼筋混凝土條形基礎(chǔ)；

2 設(shè)備基礎(chǔ)不應(yīng)跨越伸縮縫；

3 設(shè)備基礎(chǔ)宜布置在柱頂、主梁或次梁上。

7.2.5 應(yīng)考慮樓層上設(shè)備的布置范圍和運(yùn)輸安裝區(qū)域的荷載，并對(duì)受此荷載影響的梁、柱和基礎(chǔ)根據(jù)正常使用極限狀態(tài)和承載能力極限狀態(tài)的要求進(jìn)行驗(yàn)算。

7.2.6 生產(chǎn)廠房樓層、屋頂應(yīng)按照實(shí)際吊掛的管道、吊頂建筑做法等，計(jì)算吊掛荷載標(biāo)準(zhǔn)值，但不宜小于0.50kN/m2。

7.2.7 用于吊掛管道的預(yù)埋件宜在鋼筋混凝土梁的梁側(cè)設(shè)置，應(yīng)根據(jù)水管的重量和吊掛點(diǎn)的間距驗(yàn)算預(yù)埋件的承載力。

8動(dòng)力及氣體工程

8.1 冷熱源

8.1.1 發(fā)光二極管工廠人工冷熱源宜采用集中設(shè)置的冷(熱)水機(jī)組和供熱、換熱設(shè)備。機(jī)型和設(shè)備選擇，應(yīng)根據(jù)工廠所在地區(qū)的氣候、能源結(jié)構(gòu)、政策、價(jià)格及環(huán)保規(guī)定，按下列規(guī)定綜合比較確定：

1 熱源應(yīng)優(yōu)先采用城市、區(qū)域供熱和工廠余熱；

2 具有城市工業(yè)燃?xì)夤?yīng)的地區(qū)，可采用燃?xì)忮仩t、燃?xì)鉄崴畽C(jī)組供熱或燃?xì)馕帐嚼?熱)水機(jī)組供冷、供熱；

3 工廠也可采用燃煤鍋爐、燃油鍋爐供熱.電動(dòng)壓縮式冷水機(jī)組供冷或燃油吸收式冷(熱)水機(jī)組供冷、供熱；

4 在夏熱冬冷地區(qū)的辦公樓、生活區(qū)可采用空氣源熱泵或地源熱泵冷(熱)水機(jī)組供冷、供熱。

8.1.2 同時(shí)需要供冷和供熱時(shí)，冷水機(jī)組宜根據(jù)負(fù)荷要求選用熱回收機(jī)組，并采用自動(dòng)控制的方式調(diào)節(jié)機(jī)組的供熱量。

8.1.3 冷熱源設(shè)備臺(tái)數(shù)和單臺(tái)容量應(yīng)根據(jù)全年冷熱負(fù)荷工況合理選擇，并應(yīng)保證設(shè)備在高、低負(fù)荷工況下均能安全、高效運(yùn)行。

8.1.4 過(guò)渡季節(jié)或冬季需用一定量的供冷負(fù)荷時(shí)，可利用冷卻塔作為冷源設(shè)備。

8.1.5 在滿足工藝及空調(diào)用冷凍水溫度的前提下，應(yīng)加大冷凍水供、回水溫差和提高冷水機(jī)組的出水溫度。

8.1.6 當(dāng)冷負(fù)荷變化較大時(shí)，經(jīng)過(guò)經(jīng)濟(jì)技術(shù)比較，冷源系統(tǒng)的部分或全部設(shè)備宜采用變頻調(diào)速控制。

8.1.7 電動(dòng)壓縮式冷水機(jī)組的裝機(jī)容量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50019的有關(guān)規(guī)定。

8.1.8 電動(dòng)壓縮式制冷機(jī)組的制冷劑應(yīng)符合有關(guān)環(huán)保的要求，當(dāng)采用過(guò)渡制冷劑時(shí)，其使用年限應(yīng)符合相關(guān)要求。

8.1.9 燃油燃?xì)忮仩t應(yīng)選用帶比例調(diào)節(jié)燃燒器的全自動(dòng)鍋爐，且每臺(tái)鍋爐宜獨(dú)立設(shè)置煙囪，煙囪的高度應(yīng)滿足項(xiàng)目環(huán)境評(píng)價(jià)文件的要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 13271的有關(guān)規(guī)定。

8.1.10 鍋爐排放的大氣污染物，應(yīng)符合大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 13271和《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 16297的有關(guān)規(guī)定。

8.2 大宗氣體供應(yīng)

8.2.1 大宗氣體管道系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 大宗氣體的供氣方式應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定；

2 氫氣、氧氣管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管，放散管應(yīng)引至室外并高出建筑的屋脊1m，氫氣放散管道上應(yīng)設(shè)置阻火器；

3 潔凈室內(nèi)的氫氣管道應(yīng)明敷，穿過(guò)潔凈室的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不應(yīng)有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施；

4 氫氣管道不得穿過(guò)不使用氫氣的房間;當(dāng)必須穿過(guò)時(shí)應(yīng)設(shè)套管或使用雙層管。

8.2.2 高純氣體管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 管徑應(yīng)按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定，管外徑不宜小于6mm；

2 管道布置不應(yīng)出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；

3 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。

8.2.3 設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w裝置的氣體純化間或氣體入口室的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；

2 氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥；

3 應(yīng)具有機(jī)械通風(fēng)裝置，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；

4 應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖。

8.2.4 大宗氣體管道和閥門(mén)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求選擇，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 氣體純度大于或等于99.9999%時(shí)，宜采用內(nèi)壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼管，閥門(mén)應(yīng)采用隔膜閥、波紋管閥；

2 氣體純度大于或等于99.999%、露點(diǎn)低于—76℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的低碳奧氏體不銹鋼管，閥門(mén)宜采用隔膜閥或波紋管閥；

3 氣體純度大于或等于99.99%、露點(diǎn)低于—60℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁拋光的奧氏體不銹鋼管，除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道可采用球閥；

4 氣體管道閥門(mén)、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。

8.2.5 氣體管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 管道連接應(yīng)采用焊接，不銹鋼管宜采用自動(dòng)氬弧焊或等離子熔透對(duì)接焊；

2 管道與設(shè)備或閥門(mén)的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；

3 管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備連接的要求，當(dāng)采用軟管連接時(shí)，應(yīng)采用金屬軟管。

8.3 特種氣體供應(yīng)

8.3.1 特種氣體應(yīng)采用外購(gòu)鋼瓶氣體、液態(tài)氣體，在工廠內(nèi)設(shè)置儲(chǔ)存、分配系統(tǒng)。

8.3.2 特種氣體儲(chǔ)存分配系統(tǒng)設(shè)備，應(yīng)根據(jù)特種氣體的性質(zhì)和儲(chǔ)存數(shù)量布置在獨(dú)立的建構(gòu)筑物內(nèi)，或布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)。

8.3.3 特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜、氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 不相容氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；

2 不相容的特種氣體的氣瓶架應(yīng)布置在不同房間里;當(dāng)布置在同一房間時(shí)，不相容特種氣體的氣瓶柜、氣瓶架之間的距離應(yīng)大于6m；

3 氣瓶柜閉門(mén)時(shí)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/h，且氣瓶柜應(yīng)保持負(fù)壓；

4 自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄漏探測(cè)器;

5 氣瓶柜門(mén)應(yīng)具備自動(dòng)關(guān)閉功能，并應(yīng)配備防爆玻璃觀察窗;氣瓶柜應(yīng)采取抗震措施，設(shè)計(jì)應(yīng)滿足當(dāng)?shù)乜拐鹪O(shè)防烈度的要求。

8.3.4 可燃、自燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 硅烷氣瓶柜閉門(mén)時(shí)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次/h，且應(yīng)連續(xù)監(jiān)控氣瓶柜的負(fù)壓；

2 自燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外、紅外火焰探測(cè)器及水噴淋系統(tǒng)；

3 可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)；

4 自燃、可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。

8.3.5 特種氣體系統(tǒng)吹掃氮?dú)獾脑O(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)鈶?yīng)與獨(dú)立的氮?dú)庠催B接，不得與公用氮?dú)饣蚬に嚨獨(dú)庀到y(tǒng)相連；

2 不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)獠坏霉灿猛坏獨(dú)庠矗?/span>

3 吹掃氮?dú)夤芫€應(yīng)設(shè)置止回閥。

8.3.6 特種氣體排氣與廢氣處理的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮?dú)庀♂屌c連續(xù)吹掃；

2 不相容性特種氣體的排氣不得接入同一排氣主管；

3 自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體的排氣應(yīng)經(jīng)過(guò)尾氣處理裝置進(jìn)行處理，排放應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 16297的有關(guān)規(guī)定。

8.3.7 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的可燃和毒性特種氣體管道應(yīng)明敷，穿過(guò)生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采用密封措施?？扇?、毒性、腐蝕性氣體管道的機(jī)械連接處，應(yīng)置于排風(fēng)罩內(nèi)。

8.3.8 特種氣體和吹掃氣體的管道和管件應(yīng)采用奧氏體超低碳不銹鋼無(wú)縫鋼管，內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理。

8.3.9 自燃、可燃、氧化性特種氣體管道，應(yīng)設(shè)置靜電泄放的接地設(shè)施。

8.3.10 室外布置的特種氣體管道應(yīng)架空布置。

8.3.11 當(dāng)特種氣體為硅烷、磷烷、砷烷時(shí)，應(yīng)采用雙層管道設(shè)計(jì)。

8.3.12 特種氣體采用雙層管輸送時(shí)，雙層管的外層管道宜采用SS304奧氏體不銹鋼管道，內(nèi)層管道應(yīng)與所輸送特種氣體的性質(zhì)匹配。

8.4 動(dòng)力氣體供應(yīng)

8.4.1 干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 干燥壓縮空氣系統(tǒng)的供氣規(guī)模應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實(shí)際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定；

2 供氣設(shè)備可集中布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的供氣站或生產(chǎn)廠房外的綜合動(dòng)力站內(nèi)。

8.4.2 風(fēng)冷式空氣壓縮機(jī)及風(fēng)冷式干燥裝置的設(shè)備布置應(yīng)防止冷卻空氣發(fā)生短路現(xiàn)象。

8.4.3 當(dāng)干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于—76℃時(shí)，可采用內(nèi)壁電拋光不銹鋼管;當(dāng)干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于—40℃時(shí)，應(yīng)采用不銹鋼管或鍍鋅碳鋼管。

8.4.4 壓縮空氣系統(tǒng)的管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 壓縮空氣主管道的直徑應(yīng)按照全系統(tǒng)實(shí)際用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，支干管道的直徑應(yīng)按照局部系統(tǒng)實(shí)際用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，支管道的直徑應(yīng)按照設(shè)備最大用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)；

2 干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于—40℃時(shí)，用于管道連接的密封材料宜選用金屬墊片或聚四氟乙烯墊片;

3 當(dāng)設(shè)計(jì)軟管連接時(shí)，宜選用金屬軟管。

8.4.5 工藝真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 工藝真空設(shè)備的抽氣能力應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實(shí)際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定；

2 工藝真空設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的一個(gè)或多個(gè)供氣站內(nèi)；

3 工藝真空設(shè)備應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備;

4 工藝真空設(shè)備應(yīng)根據(jù)工藝系統(tǒng)的實(shí)際情況選用水環(huán)式或干式真空泵;

5 工藝真空系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)真空壓力過(guò)低保護(hù)裝置。

8.4.6 工藝真空系統(tǒng)的管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 工藝真空管路設(shè)計(jì)應(yīng)布置成支狀系統(tǒng);

2 工藝真空主管道的直徑應(yīng)按照全系統(tǒng)實(shí)際抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，支干管道的直徑應(yīng)按照局部系統(tǒng)實(shí)際抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，支管道的直徑應(yīng)按照設(shè)備最大抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)；

3 工藝真空系統(tǒng)的管道材料宜根據(jù)工藝真空系統(tǒng)的真空壓力及真空特性選用不銹鋼管或厚壁聚氯乙烯管道;

4 當(dāng)設(shè)計(jì)軟管連接時(shí)，宜選用金屬軟管。

8.4.7 清掃真空系統(tǒng)宜選用移動(dòng)式清掃真空設(shè)備。

9供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化

9.1 一般規(guī)定

9.1.1 潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)以及潔凈室形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求確定。

9.1.2 潔凈室的氣流組織應(yīng)根據(jù)潔凈度等級(jí)、生產(chǎn)工藝要求以及技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。

9.1.3 當(dāng)出現(xiàn)下列情況之一時(shí)，空氣凈化調(diào)節(jié)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置：

1 生產(chǎn)工藝中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量及人員安全衛(wèi)生有影響；

2 溫濕度基數(shù)和允許波動(dòng)范圍差別大的潔凈室；

3 凈化空調(diào)系統(tǒng)和一般空調(diào)系統(tǒng)；

4 潔凈室內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱、散濕量相差懸殊的潔凈室；

5 系統(tǒng)風(fēng)量過(guò)大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

9.1.4 潔凈室內(nèi)的新風(fēng)量應(yīng)取下列兩項(xiàng)中的最大值：

1 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新風(fēng)量之和；

2 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新風(fēng)量不小于40m3。

9.1.5 潔凈室與周圍的空間應(yīng)保持靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 不同等級(jí)的潔凈室之間的靜壓差不宜小于5Pa；

2 潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa；

3 潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。

9.2 供暖、通風(fēng)與廢氣處理

9.2.1 供暖設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50019的有關(guān)規(guī)定。

9.2.2 潔凈室內(nèi)不應(yīng)采用散熱器供暖。

9.2.3 寒冷和嚴(yán)寒地區(qū)各動(dòng)力站房應(yīng)根據(jù)工藝要求設(shè)置值班供暖。

9.2.4 潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備和輔助設(shè)備，均應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置，排風(fēng)罩宜為密閉式。

9.2.5 排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的尾氣應(yīng)設(shè)就地處理裝置；

2 酸、堿排風(fēng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置系統(tǒng)，風(fēng)機(jī)的電機(jī)應(yīng)按一級(jí)負(fù)荷供電；

3 工藝設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用風(fēng)機(jī)；

4 有冷凝液產(chǎn)生的酸、堿排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管宜設(shè)置坡度和排液口，且風(fēng)管系統(tǒng)應(yīng)采取防液體滲漏措施；

5 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采取防火、防爆措施；

6 酸、堿、硅烷排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管不應(yīng)穿越防火墻或通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)機(jī)房的隔墻和樓板，當(dāng)必須穿越時(shí)，不得設(shè)置熔片式防火閥；

7 酸、堿排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)應(yīng)設(shè)在廢氣處理設(shè)備的下風(fēng)側(cè)；

8 工藝設(shè)備的排風(fēng)溫度高于60℃時(shí)，排風(fēng)管應(yīng)設(shè)保溫措施；

9 工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)的室外風(fēng)管應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)貧庀髼l件設(shè)置防結(jié)露保溫措施；

10 潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防止室外氣流倒灌的措施。

9.2.6 廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 酸、堿廢氣不得采用固定床吸附劑方式處理；

2 酸、堿廢氣宜采用淋洗方式處理，處理設(shè)備的填料層數(shù)、厚度和噴淋藥液循環(huán)量應(yīng)計(jì)算確定;處理設(shè)備的加藥、補(bǔ)水和排污應(yīng)采用自動(dòng)方式;處理設(shè)備宜就近設(shè)置日用藥箱；

3 兩臺(tái)及兩臺(tái)以上廢氣處理設(shè)備并聯(lián)運(yùn)行時(shí)，應(yīng)在每臺(tái)設(shè)備的入口設(shè)置電動(dòng)或氣動(dòng)密閉風(fēng)閥；

4 寒冷地區(qū)或嚴(yán)寒地區(qū)使用的淋洗式廢氣處理裝置應(yīng)采取防凍措施。

9.2.7 酸、堿廢氣經(jīng)處理后應(yīng)經(jīng)排氣筒排入大氣，排氣筒高度應(yīng)符合環(huán)境評(píng)估報(bào)告的要求，排氣筒出口處風(fēng)速宜大于或等于18m/s，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 16297的有關(guān)規(guī)定。

9.2.8 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間應(yīng)設(shè)置不低于12次/h的事故排風(fēng)。

9.2.9 使用氫氣房間的吊頂上部應(yīng)設(shè)置通風(fēng)換氣措施，排風(fēng)量宜為1次/h～2次/h，吸風(fēng)口上緣至頂棚平面或屋頂?shù)木嚯x不應(yīng)大于0.1m。

9.2.10 換鞋間應(yīng)設(shè)置不低于10次/h的全室排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)口宜設(shè)置在下部;換鞋柜宜設(shè)置局部排風(fēng)措施;一次更衣間宜設(shè)置不低于5次/h的全室排風(fēng)系統(tǒng)

9.3 空氣調(diào)節(jié)與凈化

9.3.1 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)應(yīng)進(jìn)行集中處理，新風(fēng)處理機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動(dòng)調(diào)速措施；

2 空氣宜經(jīng)過(guò)粗效、中效、高效過(guò)濾器三級(jí)處理；

3 新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風(fēng)率不得大于1%。

9.3.2 光刻間凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組和干冷卻盤(pán)管處理，其他潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用循環(huán)空氣處理機(jī)組處理。

9.3.3 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間的凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置。

9.3.4 循環(huán)空氣處理機(jī)組宜采用干冷卻方式處理空氣。

9.3.5 循環(huán)空氣處理機(jī)組的風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動(dòng)調(diào)速措施。

9.3.6 空調(diào)加熱、加濕系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)利于工廠余熱的利用。

9.3.7 潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

9.3.8 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離排放有害物或可燃物的排氣口。

9.3.9 潔凈室的噪聲控制設(shè)計(jì)的噪聲級(jí)(空態(tài))應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定，但當(dāng)潔凈室采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組和干冷卻盤(pán)管處理循環(huán)空氣時(shí)，單向流和混合流潔凈室的噪聲級(jí)(空態(tài))不應(yīng)大于70dB(A)，非單向流潔凈室的噪聲級(jí)(空態(tài))不應(yīng)大于65dB(A)。

9.4 防排煙

9.4.1 生產(chǎn)廠房中防煙樓梯間、前室或合用前室宜設(shè)置自然排煙設(shè)施，當(dāng)不能滿足自然排煙要求時(shí)，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙系統(tǒng)。機(jī)械排煙系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

9.4.2 生產(chǎn)廠房中不具備自然排煙的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙系統(tǒng)。

9.4.3 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備車間內(nèi)應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙系統(tǒng)，其他車間排煙系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

9.4.4 潔凈室(區(qū))的排煙系統(tǒng)應(yīng)有防止室外氣流倒灌的措施，并應(yīng)設(shè)置旁通管路用于平時(shí)巡檢。

9.4.5 潔凈室(區(qū))內(nèi)的排煙風(fēng)管當(dāng)使用產(chǎn)塵的保溫材料進(jìn)行隔熱時(shí)，應(yīng)為具有雙層金屬板夾保溫材料構(gòu)造的成品保溫風(fēng)管，保溫材料應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。內(nèi)層金屬板的厚度應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB 50243的有關(guān)規(guī)定。

10給水排水

10.1 一般規(guī)定

10.1.1 發(fā)光二極管工廠的給水排水設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑給水排水設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50015的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 設(shè)有技術(shù)夾層的發(fā)光二極管工廠，其廠房?jī)?nèi)的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層內(nèi);

2 潔凈室內(nèi)不宜穿過(guò)與該潔凈室無(wú)關(guān)的給排水管道，當(dāng)必須穿過(guò)時(shí)，應(yīng)采取可靠的防滲漏、防結(jié)露措施。

10.1.2 廢水管道不宜直接敷設(shè)在首層結(jié)構(gòu)板下，當(dāng)必須直接敷設(shè)時(shí)，應(yīng)采取可靠的防滲漏措施。

10.2 一般給水排水

10.2.1 應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定給水系統(tǒng)。

10.2.2 下列場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置緊急淋浴器或洗眼器：

1 危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存、配置區(qū)域;

2 可能產(chǎn)生化學(xué)品泄漏的區(qū)域;

3 毒性、腐蝕性氣體的特種氣體間。

10.2.3 緊急淋浴器或洗眼器的服務(wù)半徑不宜大于15m，且服務(wù)半徑內(nèi)不應(yīng)有障礙物。

10.2.4 給水、排水管道的管材應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 給水管道的材質(zhì)及接口應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)、水壓、水溫等的要求;

2 排水管道的材質(zhì)及接口應(yīng)滿足生產(chǎn)廢水水質(zhì)的要求。

10.2.5 排水收集系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 生產(chǎn)廢水、生活污水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置；

2 不同污染物的生產(chǎn)廢水宜分別設(shè)置；

3 廢水與廢液應(yīng)分別設(shè)置；

4 含有砷及其他重金屬污染物的廢水應(yīng)單獨(dú)設(shè)置收集系統(tǒng)。

10.2.6 生產(chǎn)廢水收集系統(tǒng)宜設(shè)置通氣管，通氣管應(yīng)高出屋面2m。

10.2.7 雨水系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

10.2.8 潔凈室(區(qū))內(nèi)地漏等排水設(shè)施的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

10.2.9 廠區(qū)化學(xué)品存儲(chǔ)、分配、收集、卸貨區(qū)域應(yīng)設(shè)置事故排水的儲(chǔ)存設(shè)施。

10.2.10 當(dāng)設(shè)有廢水收集槽且采用提升泵輸送廢水時(shí)，廢水提升泵宜設(shè)置應(yīng)急備用電源。

10.3 純水

10.3.1 純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 純水系統(tǒng)的水質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求確定；

2 純水系統(tǒng)供水管網(wǎng)的循環(huán)回流水量不宜小于設(shè)計(jì)供水量的20%；

3 純水制備系統(tǒng)及供水管網(wǎng)的回收率應(yīng)根據(jù)項(xiàng)目實(shí)際情況確定；

4 純水供給管路系統(tǒng)的布置應(yīng)確保用水點(diǎn)的水質(zhì)。

10.3.2 純水制備區(qū)域的排水管道應(yīng)確保制水設(shè)備瞬時(shí)排水能得到及時(shí)排除。

10.4 工藝?yán)鋮s循環(huán)水

10.4.1 工藝設(shè)備冷卻循環(huán)水的水質(zhì)、水溫、水壓應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備要求確定。

10.4.2 工藝?yán)鋮s循環(huán)水系統(tǒng)宜采用開(kāi)式系統(tǒng)。

10.4.3 工藝?yán)鋮s循環(huán)水系統(tǒng)的管材及配件應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求確定，不宜采用焊接鋼管。

10.4.4 當(dāng)工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的水溫要求與管道布置的環(huán)境溫度不同時(shí)，管道系統(tǒng)應(yīng)采取保溫措施。

10.4.5 工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急備用電源。

10.4.6 工藝?yán)鋮s水的補(bǔ)水水質(zhì)應(yīng)滿足工藝設(shè)備的要求。

10.5 廢水處理

10.5.1 發(fā)光二極管工廠的廢水處理應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工程環(huán)境保護(hù)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50814的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)根據(jù)廢水水量、水質(zhì)及排放標(biāo)準(zhǔn)等確定處理流程；

2 廢水處理設(shè)施及末端排放宜設(shè)置在線監(jiān)測(cè)儀表；

3 處理系統(tǒng)采用的管材宜與收集系統(tǒng)一致。

10.5.2 含砷及其他重金屬的廢水應(yīng)單獨(dú)設(shè)置處理系統(tǒng)。

10.6 消防

10.6.1 發(fā)光二極管工廠應(yīng)設(shè)置消防給水系統(tǒng)。

10.6.2 消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016及《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50084的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 潔凈室生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓；

2 潔凈生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)，噴水強(qiáng)度不應(yīng)小于8L/min·m2，作用面積不應(yīng)小于160m2;潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)向下氣流區(qū)域內(nèi)應(yīng)采用快速反應(yīng)噴頭；

3 特種氣體站、硅烷站的消防設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB 50646的有關(guān)規(guī)定。

10.6.3 設(shè)置固定滅火裝置的倉(cāng)庫(kù)，應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50084的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

10.6.4 潔凈區(qū)內(nèi)宜配置的手提二氧化碳滅火器不應(yīng)對(duì)潔凈環(huán)境產(chǎn)生破壞，廠房?jī)?nèi)其余場(chǎng)所配置的滅火器應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50140的有關(guān)規(guī)定。

11電氣

11.1 供配電與照明

11.1.1 發(fā)光二極管工廠的用電負(fù)荷等級(jí)和供電，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50052的有關(guān)規(guī)定。

11.1.2 主要生產(chǎn)工藝設(shè)備宜由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電，當(dāng)對(duì)斷電時(shí)間或電源質(zhì)量有特殊要求時(shí)，工作電源宜設(shè)置不間斷電源(UPS)或其他提高電源質(zhì)量的設(shè)備。

11.1.3 發(fā)光二極管工廠低壓配電電壓應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。配電系統(tǒng)接地的型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。

11.1.4 發(fā)光二極管工廠的消防用電負(fù)荷分級(jí)及供電要求，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

11.1.5 潔凈室內(nèi)應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的配電設(shè)備。

11.1.6 發(fā)光二極管廠房的電氣管線敷設(shè)在潔凈室內(nèi)時(shí)宜暗敷。穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈區(qū)內(nèi)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。

11.1.7 發(fā)光二極管廠房?jī)?nèi)易燃、易爆氣體或液體的入口室、輔助間的電氣設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)易燃、易爆氣體或液體的特性確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

11.1.8 潔凈室內(nèi)照明光源，宜采用高效熒光燈。當(dāng)工藝有特殊要求或照度值達(dá)不到設(shè)計(jì)要求時(shí)，也可采用其他形式光源。

11.1.9 潔凈室內(nèi)一般照明燈具宜為吸頂明裝或嵌入頂棚暗裝。當(dāng)嵌入頂棚暗裝時(shí)，其安裝縫隙應(yīng)有可靠的密封措施，同時(shí)應(yīng)便于燈管維修和更換。

11.1.10 發(fā)光二極管廠房潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照明的照度值應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)的要求確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》GB 50034的有關(guān)規(guī)定。

11.1.11 廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處設(shè)置疏散標(biāo)志應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。在專用消防口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。

11.2 防雷與接地

11.2.1 發(fā)光二極管廠房的防雷系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50057和《建筑物電子信息系統(tǒng)防雷技術(shù)規(guī)范》GB 50343的有關(guān)規(guī)定。

11.2.2 發(fā)光二極管廠房生產(chǎn)設(shè)備的功能接地電阻不宜大于1Ω，有特殊接地要求的設(shè)備，應(yīng)滿足設(shè)備要求的接地電阻值。

11.2.3 功能性接地、保護(hù)性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地、防靜電接地宜采用共用接地系統(tǒng)，并應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，接地電阻值應(yīng)按其中最小值確定，且不宜大于1Ω。

11.2.4 選擇分散接地方式時(shí)，各種功能接地系統(tǒng)的接地體應(yīng)遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體。分開(kāi)設(shè)置的接地系統(tǒng)接地極與共用接地系統(tǒng)接地極應(yīng)保持20m及以上的間距。

11.3 自控

11.3.1 發(fā)光二極管廠房環(huán)境和公用動(dòng)力設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)宜采用集散或分布式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，系統(tǒng)應(yīng)易于擴(kuò)展和維護(hù)，并應(yīng)具備顯示、記錄、控制、報(bào)警、分析和提示功能。

11.3.2 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間應(yīng)設(shè)置壓差變送器，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差宜為5Pa。當(dāng)潔凈區(qū)凈化空調(diào)選用變頻風(fēng)機(jī)時(shí)，設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差設(shè)定值調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速。

11.3.3 空調(diào)系統(tǒng)的電加熱器應(yīng)設(shè)有無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù);當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)有無(wú)水保護(hù)。

11.4 通信

11.4.1 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)設(shè)置內(nèi)外聯(lián)系的語(yǔ)音通信設(shè)施。

11.4.2 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)根據(jù)管理及工藝的需要設(shè)置數(shù)據(jù)通信插座。

11.4.3 語(yǔ)音和數(shù)據(jù)通信線路宜采用綜合布線系統(tǒng)，其配線及管理設(shè)備不宜設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)。

11.5 安全防護(hù)

11.5.1 發(fā)光二極管工廠應(yīng)設(shè)火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警及消防聯(lián)動(dòng)控制系統(tǒng)，系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 潔凈廠房的潔凈室(區(qū))及輔助建筑均應(yīng)設(shè)智能型火災(zāi)探測(cè)器;

2 當(dāng)潔凈室(區(qū))點(diǎn)式探測(cè)器設(shè)置條件不能滿足現(xiàn)行規(guī)范設(shè)計(jì)要求時(shí)，宜選擇吸氣式空氣采樣早期煙霧探測(cè)系統(tǒng)；

3 潔凈室(區(qū))出入口內(nèi)外均應(yīng)設(shè)置手動(dòng)火災(zāi)報(bào)警按鈕；

4 潔凈室(區(qū))內(nèi)主入口應(yīng)設(shè)消防專用電話分機(jī)；

5 潔凈室(區(qū))的消防聯(lián)動(dòng)控制應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定；

6 潔凈室(區(qū))的空調(diào)及排煙系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)控制應(yīng)在火災(zāi)核實(shí)并確認(rèn)后，控制室或現(xiàn)場(chǎng)手動(dòng)控制。

11.5.2 發(fā)光二極管工廠特種氣體應(yīng)設(shè)泄漏監(jiān)控及安全系統(tǒng)，系統(tǒng)的設(shè)置及聯(lián)動(dòng)控制應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB 50646的有關(guān)規(guī)定。

11.5.3 發(fā)光二極管工廠化學(xué)品的儲(chǔ)存場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置視頻監(jiān)控與門(mén)禁設(shè)施。

11.5.4 發(fā)光二極管工廠應(yīng)設(shè)置應(yīng)急廣播，潔凈室(區(qū))內(nèi)揚(yáng)聲器的選擇不應(yīng)對(duì)潔凈區(qū)域的潔凈度造成影響。

12防靜電

12.1 一般規(guī)定

12.1.1 發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電工作區(qū)。防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)應(yīng)滿足環(huán)境控制靜電放電、防止靜電危害事故的要求。

12.1.2 防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)應(yīng)按照發(fā)光二極管生產(chǎn)工序的要求進(jìn)行分級(jí)。防靜電工作區(qū)靜電電位絕對(duì)值應(yīng)小于產(chǎn)品的靜電電位安全值。

12.1.3 發(fā)光二極管防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)適用工序可按表12.1.3確定。

表12.1.3 發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)適用工序

防靜電級(jí)別靜電電位絕對(duì)值(V)適用工序

二級(jí)≤200裂片、繃片、分類篩選

三級(jí)≤1000

注：1 發(fā)光二極管制造設(shè)備可按防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)分級(jí)三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)；

2 成品庫(kù)成品貨架可按防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)分級(jí)三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)。

12.1.4 發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房防靜電工作區(qū)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50611的有關(guān)規(guī)定。

12.2 防靜電措施

12.2.1 發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房防靜電工作區(qū)中，防靜電地面應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 防靜電地面的表層應(yīng)采用導(dǎo)靜電材料或靜電耗散性材料，其表面電阻應(yīng)為2.5×104Ω～1.0×109Ω；

2 防靜電地面應(yīng)設(shè)置靜電泄放導(dǎo)電層和接地連接，其對(duì)地電阻應(yīng)為2.5×104Ω～1.0×109Ω；

3 防靜電地面應(yīng)具有可靠的靜電泄放接地系統(tǒng);地面導(dǎo)電層接地引出點(diǎn)不應(yīng)少于2處，且相鄰間距不應(yīng)大于25m。

12.2.2 當(dāng)防靜電工作區(qū)含有吊頂和墻、柱面時(shí)，其裝飾應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 吊頂和墻、柱面裝飾的罩面板應(yīng)選用導(dǎo)靜電材料或靜電耗散性材料制作，罩面板的表面電阻應(yīng)為2.5×104Ω～1.0×109Ω；

2 二級(jí)防靜電工作區(qū)的墻、柱面不設(shè)置導(dǎo)電層時(shí)，應(yīng)涂刷防靜電涂層，或裝飾靜電耗散層，其表面電阻不應(yīng)大于1.0×109Ω；

3 頂棚和墻、柱面裝飾有導(dǎo)電層要求時(shí)，應(yīng)制定合理的導(dǎo)電層方案，采用十字型構(gòu)造銅箔或設(shè)置多點(diǎn)間接接地的接點(diǎn)。當(dāng)頂棚和墻、柱面裝飾設(shè)置基層骨架時(shí)，骨架應(yīng)選用金屬材料制作，金屬骨架應(yīng)接地。接地連接點(diǎn)的設(shè)置每個(gè)房間不應(yīng)少于4處，相鄰連接點(diǎn)之間距離不應(yīng)大于18m。

12.2.3 當(dāng)防靜電工作區(qū)含有門(mén)窗時(shí)，設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 二級(jí)防靜電工作區(qū)應(yīng)選用靜電耗散性材料制作門(mén)或采用靜電耗散性材料貼面;三級(jí)防靜電工作區(qū)可采用低起電材料制作，其摩擦起電電壓絕對(duì)值不應(yīng)大于1000V；

2 室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時(shí)，其表面應(yīng)粘貼靜電耗散性透明薄膜，或噴涂靜電耗散性涂層。

12.2.4 防靜電工作區(qū)的其他裝修設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 各類裝修材料應(yīng)具有表面靜電耗散性能，不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣材料；

2 各類裝修的飾面應(yīng)平整光滑。

12.2.5 防靜電工作區(qū)的空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作，并應(yīng)防靜電接地。

12.2.6 防靜電工作區(qū)的空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、各種配管當(dāng)使用部分絕緣性材質(zhì)時(shí)，應(yīng)在配管表面安裝緊密結(jié)合的金屬網(wǎng)，并應(yīng)將金屬網(wǎng)接地。使用導(dǎo)電性非金屬軟管時(shí)，應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的接觸面積不小于20cm2的金屬導(dǎo)體，并應(yīng)用接地引線與金屬導(dǎo)體可靠連接后接地。

12.2.7 防靜電工作區(qū)的送風(fēng)口和各種管道的輸出入口裝置，與配管系統(tǒng)之間應(yīng)有可靠的電氣連接，并應(yīng)可靠接地。送風(fēng)口和各種管道的輸出入口裝置表面應(yīng)涂刷防靜電涂層，或按工藝要求進(jìn)行防靜電處理。

12.2.8 防靜電工作區(qū)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器、防靜電安全工作臺(tái)。

12.3 防靜電接地

12.3.1 防靜電工作區(qū)頂棚、墻面、地面的防靜電接地，人體防靜電接地，操作裝置和儀器的防靜電接地，應(yīng)分別選擇適當(dāng)位置設(shè)置接地連接裝置。接地連接裝置可使用易于裝拆的各種夾式連接器，但應(yīng)保證電氣連接可靠。

12.3.2 防靜電工作區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)置防靜電接地端子板、接地網(wǎng)格，或截面積不小于100mm2的閉合接地銅排環(huán)。防靜電接地引線應(yīng)從防靜電接地端子板、接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)上就近接地，接地引線應(yīng)使用多股銅線，導(dǎo)線截面積不應(yīng)小于1.5mm2。

12.3.3 防靜電接地系統(tǒng)在接入大地前應(yīng)經(jīng)總等電位接地端子板或樓層接地端子板引至接地網(wǎng)。

12.3.4 防靜電接地宜選擇聯(lián)合接地方式。當(dāng)選擇單獨(dú)接地方式時(shí)，接地電阻值不應(yīng)大于10Ω，并與防雷接地裝置保持不小于20m的間距。

12.3.5 爆炸危險(xiǎn)和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境的各種流動(dòng)液體、氣體或粉體管道安裝的防靜電措施應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50316的有關(guān)規(guī)定。

13空間管理

13.1 一般規(guī)定

13.1.1 空間管理設(shè)計(jì)應(yīng)滿足工藝設(shè)備和公用設(shè)備的外型尺寸、平面布置、運(yùn)行、維修及其管線安裝要求。

13.1.2 潔凈生產(chǎn)層凈高應(yīng)按照生產(chǎn)設(shè)備和物料運(yùn)輸設(shè)備尺寸、微環(huán)境裝置及潔凈氣流控制等因素確定，不宜低于3m。

13.1.3 上技術(shù)夾層凈高應(yīng)按照空調(diào)設(shè)備、管線布置、潔凈氣流控制等因素確定，不宜低于2m。

13.2 管線布置

13.2.1 管線布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 管線布置應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、安全間距和維修要求；

2 管線布置不應(yīng)影響工藝設(shè)備搬入和物料運(yùn)輸；

3 管線之間及管線與建筑物墻壁、溝壁或立柱間凈距應(yīng)滿足管線安裝操作要求；

4 各種管線宜成排布置，單排管線宜按照管線材質(zhì)及壓力和重力管線分組；

5 壓力管線與重力管線交叉時(shí)壓力管線應(yīng)避讓重力管線；

6 臨時(shí)性管線應(yīng)避讓永久性管線。

13.2.2 管線布置自上至下宜按照消防管線、電氣管線、水氣管線、風(fēng)管的順序布置。

13.2.3 管線布置應(yīng)滿足各專業(yè)系統(tǒng)布置的要求。

13.2.4 氧氣、氫氣管線與其他管線間距應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50030、《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50177和《大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB 50724的有關(guān)規(guī)定。

13.2.5 特種氣體管線、化學(xué)品供應(yīng)管線宜成排布置，且宜布置在槽架內(nèi)，槽架與其他管線凈距不宜小于200mm。

13.2.6 落地安裝的管線應(yīng)滿足閥門(mén)、法蘭、過(guò)濾器等管道附件的安裝要求，管底或保溫層底距地面不應(yīng)小于150mm。

13.2.7 技術(shù)夾層內(nèi)的管線布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 技術(shù)夾層管線布置應(yīng)按照工藝設(shè)備布置統(tǒng)籌規(guī)劃；

2 技術(shù)夾層管線布置宜預(yù)留檢修通路；

3 上技術(shù)夾層管線布置應(yīng)滿足風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組、高效過(guò)濾器、超高效過(guò)濾器等設(shè)備的安裝及檢修要求。

13.2.8 管線宜布置在上技術(shù)夾層和技術(shù)夾道，當(dāng)布置在潔凈室內(nèi)時(shí)應(yīng)滿足工藝設(shè)備的運(yùn)行及檢修要求。

13.2.9 特種氣體管線、危險(xiǎn)氣體管線、化學(xué)品供應(yīng)管線等宜布置在潔凈生產(chǎn)層。

附錄A 發(fā)光二極管典型生產(chǎn)環(huán)境要求

表A 發(fā)光二極管典型生產(chǎn)環(huán)境要求